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四探针电阻率 方阻分析仪 灵敏度四探针电阻率 方阻检测仪

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  • 型号:DL04-KDY-1
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    四探针电阻率 方阻测试仪 灵敏度四探针电阻率 方阻检测仪

    型号:DL04-KDY-1                          

     产品介绍

    DL04-KDY-1型四探针电阻率/方阻测试仪(以下简称电阻率测试仪)是用来测量半导体材料(主要是硅单晶、锗单晶、硅片)电阻率,以及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶方块电阻的测量仪器。它主要由电气测量部份(简称:主机)、测试架及四探针头组成。

    本仪器的特点是主机配置双数字表,在测量电阻率的同时,另一块数字表(以万分之几的精度)适时监测全程的电流变化,免除了测量电流/测量电阻率的转换,更及时掌控测量电流。主机还提供精度为0.05%的恒流源,使测量电流高度稳定。本机配有恒流源开关,在测量某些箔层材料时,可免除探针尖与被测材料之间接触火花的发生,更好地保护箔膜。仪器配置了本公司的产品:“小游移四探针头”,探针游移率在0.10.2%。保证了仪器测量电阻率的重复性和准确度。本机如加配HQ-710E数据处理器,测量硅片时可自动进行厚度、直径、探针间距的修正,并计算、打印出硅片电阻率、径向电阻率的zui大百分变化、平均百分变化、径向电阻率不均习庋。给测量带来很大方便。

    2、主机技术能数

    1)测量范围:

    可测电阻率:0.000119000Ω•cm

    可测方块电阻:0.0011900Ω•□

    2)恒流源:

    输出电流:DC 0.001100mA 五档连续可调

    量程:0.0010.01mA

    0.010.10mA

    0.101.0mA

    1.010mA

    10100mA

    恒流精度:各档均低于±0.05%

    3)直流数字电压表:

    测量范围:0199.99mV

    灵敏度:10μV

    基本误差:±(0.004%读数+0.01%满度)

    输出电源:≥1000ΩM

    4)供电电源:

    AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W

    5)使用环境:

    温度:23±2 相对湿度:≤65%

    无较强的电场干扰,无强光直接照射

    6)重量、体积:

    主机重量:7.5kg

    体积:365×380×160(单位:mm 长度×宽度×高度)

    备注:

    等级测量时(测电阻率),精度〈3%

    电气测量时(测电阻),精度在0.3%以内

    10μV)

     

    北京北信科仪分析仪器有限公司

    地址:北京市昌平区西三旗龙旗广场2号楼

    :李

     

    http://www.bxequ.com

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赛默飞世尔 Thermo 生物安全柜 1379

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